３モード・カラー共焦点・干渉顕微鏡

PLu neox

• 概要
• 特徴
• 仕様

膜厚も測定可能なハイブリッド顕微鏡

従来の共焦点顕微鏡・干渉計が性能アップし更に薄膜モードを搭載

Plu neoxは、Plu2300に搭載されている共焦点と干渉計のデュアルテクノロジーの技術をベースに、従来の測定性能を向上させ更に薄膜測定機能を新たに追加した多機能型の共焦点顕微鏡です。従来の共焦点法を用いた膜厚では限界のあった薄膜の測定も解決しました。

PLu neoxは、ISO25178-607ドラフトにもエントリーされている最先端の機種です。

３モード・カラー共焦点・干渉顕微鏡「PLu neox」の特徴