共焦点顕微鏡／干渉計のスペシャリスト

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お客様の声

PLμ導入のお客様の声【大手企業研究所様】

微小光学部品を用いた研究開発を行っていますが、最近よく傾斜角度45度以上のV突起形状を持った光学部品を取り扱います。光学特性の測定のみならず、部品形状も測定する必要がありますが、これがPLμ導入のきっかけでした。

当初はレーザ顕微鏡や走査型白色干渉顕微鏡を検討していましたが、各メーカーさんに サンプル測定をお願いしても測定が不可能、あるいは一部測定エラーが発生するなど満足できる形状測定顕微鏡がありませんでした。

この時に出会ったのが、PLμです。Sensofar社にサンプルを提供し測定していただいた結果、満足のできる測定結果が送付されてきました。早速、小野田様（現Sensofar Japan代表取締役）と来日中だったSensofar社長Dr. Laguartaに来訪いただき詳細説明を受け、購入に至りました。

PLμの長所は、まず100倍の対物レンズを使えば傾斜角度51°まで測定可能であることです。先に述べたV突起形状の他にも3次元形状を持った微小部品が増えており、それに伴い詳細な形状測定のニーズも増えています。

PLμはV突起測定などで発生する照射光の多重反射の影響を自動的に除去できるため正確な測定が可能です。次に測定時間が短いことだと思います。測定時間は測定精度にも影響するため、できるだけ短時間であることが望まれますが、PLμはそれを満足します。さらに操作がシンプルで何度もマニュアルを見直す手間がありません。

以上述べましたように、PLμは我々のアプリケーションにとって最適な形状測定顕微鏡であり満足しています。つい先日にはスティッチング機能も追加し、大面積にて精密測定が可能となりました。今後、使用頻度も高まってくると予想しています。Sensofar社にはさらなる精密形状測定が可能となる改良、革新を望んでいます。

PLμ導入のお客様の声【大手企業開発部様 】

PLu2300の導入を始めて1年ほどになります。

検討していた当時、微細構造の評価を目的としていたため、精度の高い測定装置を探しており、レーザーセンサ・共焦点顕微鏡や干渉計など、あらゆる形状を測定する装置を調査しました。

調査の過程では、実際の装置と技術を自身で確認することを心がけて行っていたため、センソファー社にも訪問してきました。その際には、装置の根幹の技術や装置の応用性を把握することができ、大変有意義なメーカ訪問となりました。

その時感じた事は、センソファー社のPLu2300は、他社製品と比較し測定精度が良い為、結果への信頼性があり、また測定後の画像がSEMに似ている為、形状（傷や粗さなど）を数値だけなく、画像からも認識できた事が非常に良い点です。

また、共焦点顕微鏡と干渉計を同じ測定機で測れるため、様々なサンプルを測定する上で大変便利であると感じました。

実際に導入した後も、始めて操作する作業者でもFocusの際に焦点があっている部分が赤く光ってくれるので、観察部位の位置確認が簡易であり、また測定スピードが速く、測定後にzoom処理にて表面粗さ等を求められるため、作業効率の向上に役立っています。

このように、PLu2300は非常に稼働率も高く使用しておりますが、今後センソファー社には、光量の強化・段階調整などの更なる改善を望んでおります。

PLμ導入のお客様の声【開発ベンチャー企業様】

非接触の三次元形状測定機やレーザー顕微鏡を使用する機会は、これまでも多くありましたが、PLμ2300の優れた能力には大変満足しています。 以下、いくつか列挙してみます。

第一に測定精度。PLμ2300は、傾斜面や高アスペクト品の測定対象物の形状をより正確に捉えたい当社の要求に的確に応えてくれます。
処理スピードも非常に速く、煩わしさを感じたことがありません。

第二に操作性。ハード・ソフト両面でよく考えられて開発されていると思います。測定パラメータの設定は、予め用意されたテーブルの中から作業者が順次選択してゆく形式で、シンプルで抜けや間違いが生じにくい構造になっています。慣れてしまえば、試料の設置から1分も要さずに測定に入れます。 プリント出力の体裁も気に入っています。

第三にフットプリント。手狭な作業場には最適です。１つの測定ヘッドと1台のPCで共焦点顕微鏡と干渉計の2つの機能を使い分けることが出来ることを考慮すると、効率・コストの面から見ても非常に付加価値の高い装置だと言えます。

さらに、他に類を見ない小型で軽量な測定ヘッドは、様々な検査装置や加工装置、ロボットなどに組み込まれ、精密レヴュー＆測定用光学ヘッドとして多方面で利用されるチャンスがあるのでは、と期待しております。