測定顕微鏡とは

従来機器の問題点

既に市販されている三次元形状測定装置（共焦点顕微鏡や干渉計を含む）は数多くあります。そして殆どの企業が既に何らかの形状測定を所有しているのが現状です。

そしてその企業で測定すべき試料が発生した場合、その限られた設備を使って測定しています。 しかし、技術レベルが向上してきた昨今では、正確且つ適正な測定が実現できているとは限らないのが実情です。

何故なら、厳しい測定精度を求められる上では、試料に適した計測機器を使用しなければならず、三次元形状測定装置であれば、どのような装置でも同じ結果が得られる訳ではないからです。

最良なソリューションを提供

当社では測定に関して過去のノウハウを生かしながら、お客様の希望内容をインタビューし、その結果として最良なソリューションを提案します。その際お客様が高額な設備の導入により、より高い設備投資効果が得られるように、その結果＝当社製品となるに関わらず、最適な手段とその導入のお手伝いをさせていただきます。

共焦点（コンフォーカル）とは

光源から出た光をサンプル面に照射し、反射した光をテテクターに入射します。このとき、デテクター前にアパチャーを通した光を入射させるため、焦点深度が浅くなり焦点が外れた反射光の殆どを遮断します。そのため（顕微鏡の対物レンズ位置）-（対象物）間の距離と光量の関係が得られます。これを顕微鏡の視野全域で行います。（顕微鏡の対物レンズ位置）-（対象物）間の距離を変化させ、反射した光量が最も強い時のレンズの高さの位置を、視野全体に対して繋ぐ事で３次元形状を得る事が出来ます。一般的な光学顕微鏡と比べ、焦点深度が浅いため、シャープな情報を得る事が出来、球面や急な傾斜面など複雑な形状の測定に有効な方法です。

干渉計とは

光波の特性を基とした干渉現象を利用して、距離を測定する方法です。光源の光は２つの光路に分岐し、１つの光を参照面に照射します。もう一方の光は対象面に照射します。この２つの面から反射光は再び重ね合わせた際、視野の中で２つの光路の長さが重なった場合は干渉縞となって現れます。参照面と対象面の光路差が波長の整数倍から波長の半分ずれている場合は干渉光は暗くなります。つまり、表面粗さなどで場所によって光路差が一定でない場合には明暗の干渉縞が観測されますので、この干渉縞を計算する事で、表面の形状が得られます。干渉縞が発生する領域は数μm程度ですが、非常に精度が高いモードのため、平面の粗さ測定に有効な方法です。