profiler
半導体・MEMS・実装部品
半導体
BGAやバンプなどエレクトロニクス製品は日々進化を遂げています。ファインピッチ化や品質の容積管理など、製造する上で様々な工程で形状管理が必項となっています。Plu2300は小型ヘッドを採用していますので、検査工程でも容易に使用することができます。
MEMS
MEMS関連製品は最先端技術を駆使して加工されています。そのため、複雑な形状をもった物や、ナノレベルの精度を要するものなど様々です。Plu2300は、共焦点顕微鏡と干渉計のどちらでも測定することができますので、幅広い測定対象に対応します。
実装部品
Stitchingやズーム機能を用いて、大きな面積の測定も高精度に行うことができます。
